Ultrahangos permetező védőfólia specifikus bevonat szilíciumlapka vágás előtt

 

 

 

A szilícium lapka vágása előtti ultrahangos permetező védőfólia-specifikus bevonat megbízható, megismételhető és hatékony módszernek bizonyult különféle vegyszerek szilíciumra történő felhordására vágás, csiszolás és polírozás előtt, hogy megvédje az ostyát és a dudorokat. A gyakori vegyi anyagok közé tartozik a Z-Coat, a PMMA és más könnyen eltávolítható vegyszerek. A FUNSONIC fúvókarendszere testreszabható, hogy megfeleljen az ügyfelek speciális bevonási követelményeinek és a védőfóliákkal kapcsolatos kihívásoknak a szilíciumlemez vágás előtt.
Az ultrahangos permetező védőfólia-specifikus bevonat a szilícium lapka vágása előtt bármilyen alakra és méretre felvihető, ha a vastagságot szubmikrontól 100 mikron felettiig szabályozzuk. A bevonatrendszer megvalósítható alternatívája más bevonási technológiáknak, például a rotációs és a hagyományos permetezésnek.

 

 

 

 

 

Az ultrahangos fúvókáknak fontos alkalmazásai vannak a fotolitográfiai feldolgozásban. A félvezetőgyártók ultrahangos permetezési technológiát alkalmaznak, hogy fotoreziszt előhívót szórjanak szilícium- és gallium-arzenid chip-hordozókra, amely olyan vegyi anyag, amely képes megjeleníteni az optikai léptető áramköröket. A permetezési folyamat magában foglalja a fúvóka behelyezését a chip fölé, majd az ultrahangos fúvóka vezérlését az XYZ három-tengelyen és szervomotoron keresztül a bevonat egyenletes elosztása érdekében. Mivel az ultrahangos fúvóka permetezése gyengéd és folyamatos, javíthatja a kémiai aktivitást, javíthatja a fejlesztési hatékonyságot, valamint csökkentheti a visszapattanást és az anyaghulladékot. Az adatok azt mutatják, hogy az ultrahangos permetezési technológia az anyagok akár 70%-át is megtakaríthatja, és javíthatja a kritikus méretek ellenőrzését.
A szokásos spinbevonattal összehasonlítva az ultrahangos fúvókák előnye, hogy egyenletesebben tudják elosztani az anyagokat, és minimálisra csökkentik a folyadékeloszlás függését a padló feszültségétől. A hagyományos centrifugálás során az anyagokat tócsák vagy patakok formájában rakják le egy forgács elemére, majd centrifugális erővel szétszórják a padlón. Ez a módszer a hőmérséklet és az oldószer párolgási töltet speciális manipulációját igényli, hogy biztosítsa a bevonat integritását és egyenletességét. Másrészt az ultrahangos fúvókák a szövetet a chip teljes padlójára porlasztják, hogy non-stop vékony filmet képezzenek. Így nem kell figyelembe venni az oldószer elpárolgását és a felületi erőket, és nem lesz porlasztás vagy hátoldali lerakódás.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Népszerű tags: ultrahangos permetező védőfólia specifikus bevonat szilícium ostya vágás előtt, Kína ultrahangos permetező védőfólia specifikus bevonat szilícium lapka vágás előtt gyártók, beszállítók, gyár