Ultrahangos permetező pirolízis berendezés és TCO bevonórendszer

Az ultrahangos spray -oxidot, a cink -oxidot (ZNO) és a fluor -doppant oxidrétegeket az egységes vékony fóliális indium -ón -oxid (ITO), alumínium -doppelt cink -oxidot (AZO) és a fluor doppelt oxidrétegeket. Ehhez az egyedi folyamathoz speciális bevonó berendezéseket igényel a szükséges bevonat vastagságának és alakjának megteremtéséhez, valamint a korrozív oldatok permetezéséhez magas hőmérsékletű környezetben.

A magas hőmérsékletű ultrahangos permetezési pirolízis során a prekurzor oldatot (például alumínium cink-oxidot) a szubsztrátra permetezzük, kb. 300-500 fokra melegítve. Az oldószer elpárolog a szállítás során, és egy ZnO kristályfilm nő a szubsztrát felületén, általában nátrium -kalcium vagy más üveg. A szubsztrát hőmérséklete általában meghatározza a film morfológiai tulajdonságait.

Az ultrahangos spray-nedves lerakódás költséghatékony alternatívát biztosít a gyártók számára a vákuumlerakódáshoz és a porlasztáshoz, nagyobb átviteli hatékonysággal. Az ultrahangos porlasztó fúvóka által generált cseppek mérete nagyon egyenletes, amely elérheti a cseppek optimális méretét a pirolízis reakcióhoz, és az összes csepp egyidejűleg reagál ugyanúgy a lerakódási folyamat során. Függetlenül attól, hogy kutatás és fejlesztés vagy tömegtermelés, ez hatékony TCO -termelési folyamatokat hoz.

A Funsonic ultrahangos fúvóka használata legyőzi a rendkívül korrozív savak permetezésének kihívását. A fúvóka korrózió-rezisztens szerkezeti anyagokból készül, és nincsenek elzáródás, megismételhetőség és hosszú élettartam. Még nagyon korrozív sósav- vagy hidrofluorinsav -oldatokat is permetezhet.

Az ultrahangos spray -pirolízis rendszer előnyei a TCO bevonathoz:

1. A CVD (kémiai gőzlerakódás) eljárással összehasonlítva az ultrahangos permetezési pirolízis egyszerű, rugalmas és költséghatékony.
2. Bizonyított TCO bevonat szakértelem.
Más permetezési módszerekkel összehasonlítva az ultrahangos fúvókák egységesebb rétegeket helyezhetnek el.
4. Könnyen beállítható és megismételhető bevonási paraméterek.
5. Teljesen integrált szabadalmaztatott ultrahangos fúvóka technológia és folyadékszállítás, teljes bevonási megoldást biztosítva.
Az alternatív alacsony hőmérsékletű permetezési pirolízis (250 fokos és annál alacsonyabb) folyamatok folyamatosan megjelennek, és további kutatásokat és fejlesztéseket végeztek olyan vegyi anyagokon, amelyek nem igényelnek magas hőmérsékletű célszubsztrátokat.