Az ultrahangos permetezés egy egyszerű, gazdaságos és reprodukálható eljárás a fotorezist és a poliimid bevonatokhoz. Az ultrahangos bevonórendszer egyszerű rétegezési technikákat használhat az áramlási sebesség, a bevonási sebesség és a lerakódási mennyiség finom szabályozására.
Az ultrahangos permetezési technológiát félvezető fotorezist bevonatokhoz használják. A hagyományos fonó bevonat és az impregnálási bevonási folyamatokhoz képest a magas egységesség, a jó mikroszerkezet beágyazásának és a szabályozható bevonat területének előnyei vannak. Az elmúlt évtizedben teljes mértékben kimutatták a háromdimenziós mikroszerkezeti fotorezisztikus bevonatok alkalmazását. A fotorezisták bevonása ultrahangos porlasztási permetezéssel történő előállításának folyamata jelentősen jobb, mint a hagyományos fonó bevonatok, a mikroszerkezet csomagolása és az egységesség szempontjából.
Az ultrahangos permetező rendszer pontosan szabályozhatja az áramlási sebességet, a bevonási sebességet és a rendezési térfogatot. Az alacsony sebességű spray -öntés a spray -t pontos és szabályozható mintaként határozza meg, hogy elkerülje a túlzott spray -t, ha nagyon vékony és egyenletes rétegeket termel. Ez az ultrahangos permetező rendszer képes vezérelni a vastagságot a szubmikronról több mint 100 mikronra, és bármilyen alakot vagy méretet lefedhet.
Az ultrahangos bevonási technológia jellemzői a fotorezist számára:
◆ Különböző felületi kontúrok egységes film -lefedettsége
◆ Nem érintkezési permetezés
◆ Mikro -légáramlás permetezése, többszörös folyékony etetési séma
◆ Nagysebességű ellenőrzési pontosság
◆ Magas folyadékfelhasználási sebesség
◆ Nagy rugalmasság a kémiai és bevonási teljesítményben
◆ Magas átviteli hatékonyság és minimális hulladék
◆ Megismételhető érett permetezési folyamat