Az ultrahangos permetező rendszerek bizonyítottan alkalmasak különféle alkalmazásokhoz, amelyek egyenletes és megismételhető fotorezist vagy poliimid film bevonatait igénylik. A vastagság ellenőrzésével a szubmikronról több mint 100 mikronra, és bármilyen formát vagy méretét be lehet takarni, a bevonórendszerek életképes alternatíva más bevonási technikákhoz, például a forgó és a hagyományos permetezéshez.
A poliimid és a fotorezist bevonatok általános alkalmazásai között szerepel, de nem korlátozódnak azokra a MEMS -ekre, lencsékre, mikrofluidikus eszközökre, mikroelektronikára és szűrőkre. A bevonórendszerek képesek lapos és 3D -s szubsztrátokat bevonni, jellemzően szilícium chipset, üvegt, kerámiát és fémeket.
Az ultrahangos permetezés egy egyszerű, gazdaságos és reprodukálható eljárás a fotorezist és a poliimid bevonathoz. Az ultrahangos bevonórendszer egyszerű rétegezési technikákkal pontosan szabályozhatja az áramlási sebességet, a bevonási sebességet és a lerakódási mennyiséget. Az alacsony sebességű spray -öntés a porlasztott spray -t pontos és szabályozható mintaként határozza meg, hogy elkerülje a túlterhelést, és nagyon vékony és egyenletes rétegeket hozzon létre.
Az ultrahangos poliimid és a fotorezist bevonatok előnyei:
1. Különböző felületi kontúrok egységes film -lefedettsége.
2. Nagy rugalmasság a kémiai és bevonat tulajdonságaiban.
3. Nem eltömő porlasztó spray.
4. Magas átviteli hatékonyság minimális hulladékkal.
5. Nagyon reprodukálható érett permetezési folyamat.
Az ultrahangos permetező rendszer magas frekvenciájú hang rezgést használ a matematikailag meghatározott cseppekből álló lágy köd előállításához. Az elzáródást kiküszöbölik, mivel a permetezéshez nem használnak nyomást, és a cseppek nagyon keskeny cseppeloszlásúak, ami tovább hozzájárul a lerakódási réteg egységességéhez.
